Федотов А.А.

UptoLike

Учебно-методические материалы автора

Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники
Просмотреть (PDF)
Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А.
Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А. Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники: Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. - 72 с.