Физическая химия : лаборатор. практикум для студентов специальностей 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектрон. технологии и системы», 1-41 01 03 «Квант. информ. системы», 1-36 04 01 «Электронно-опт. системы и технологии» всех форм обучения