Испытание и исследование полупроводниковых приборов и элементов интегральных схем : лаборатор. практикум по курсу «Полупроводниковые приборы и элементы интегр. микросхем» для студентов специальностей 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы»,