Программный модуль GUI-SUPREM III для проектирования технологии интегральных схем : метод. пособие по дисцциплине «Основы САПР в микроэлектронике» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы», I-41 01 03 «Квант. инфо