Триботехническое материаловедение и триботехнология. Денисова Н.Е - 128 стр.

химическую природу атомов. В настоящее время существует несколько
экспериментально полученных оже-спекторов, что позволяет в
большинстве случаев легко связать обнаруженные оже-пики в электронных
спектрах исследуемых материалов и элементов, входящих в них.
      Из сказанного следует, что для оже-процесса необходимо, чтобы атом
содержал как минимум три электрона, поэтому в атомах водорода и гелия
оже-процесс невозможен.
      Кроме определения состава поверхности твердого тела, ЭОС можно
применять для изучения химических связей, т.е если атомы данного
элемента находятся на поверхности в различных химических состояниях,
то возможно появление тонкой структуры оже-линии. Сравнивая оже-
линии одного и того же элемента до и после воздействия на него каких-
либо факторов, можно говорить об изменении его химического состояния.
      Для установления состава и свойств материалов в большинстве
случаев достаточно качественной или полуколичественной информации,
которая может быть получена, как уже говорилось, из наблюдений за
изменением интенсивности и формы оже-пиков. Метод ЭОС может
служить источником количественной информации. Для проведения
количественного анализа, необходимо установить связь между током оже-
электронов некоторого элемента и количеством атомов этого элемента в
поверхностном слое детали.
      Рассмотренное выше применение ЭОС относится к исследованию
поверхностного слоя детали. Значительный интерес представляет
выявление распределения элементов по глубине образца. Такая
возможность представляется при сочетании ЭОС с ионным распылением
поверхности. Для таких исследований используют обычно ионные пучки
инертных газов с энергией от нескольких сотен до нескольких тысяч
электрон-вольт. В этом случае элементный состав определяется
распылением, после снятия определенного слоя с поверхности образца.
      Рентгено-спектральный микроанализ – распространенным
методом анализа состава материалов. При этом анализе регистрируют
характеристическое рентгеновское излучение из зоны торможения
электронов зонда в твердой мишени. РСМА часто применяется вместе с
РЭМ на одном приборе в виде специальной приставки–микроанализатора.
      Вторичная ионная масс-спектрометрия – это тоже ионно-
зондовый метод, который позволяет исследовать элементный и фазовый
состав поверхности и приповерхностного слоя, а также некоторые
процессы в поверхностных слоях твердых тел, и является одним из
наиболее распространенных методов анализа ионно-имплантированных