Технология и оборудование производства изделий электронной техники. Шикова Т.Г.

В учебном пособии рассмотрены в сравнении различные термоэмиссионные катоды, области их использования и способы приближенного расчета. На примере отдельных электронных приборов показан подход к составлению технологических схем и анализу технологии изготовления. В каждом разделе приведены задания для самостоятельной работы студентов. В приложениях представлены справочные данные по свойствам различных материалов, используемых в электровакуумной технологии, необходимые для выполнения самостоятельных заданий. Предназначено для студентов, обучающихся по специальности 251000 - "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники".