Беграмбеков Л.Б. Модификация поверхности твердых тел при ионном и плазменном воздействии: Учебное пособие. - М: МИФИ, 2001. - 34 с.
Жданов С.К., Курнаев В.А., Романовский М.К., Цветков И.В.
Жданов С.К., Курнаев В.А., Романовский М.К., Цветков И.В. Основы физических процессов в плазме и плазменных установках: Учебное пособие. - М.: МИФИ, 2000. - 184 с.