РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое:
Дисциплина:
Формат файла:
PDF
Ключевые слова:
- учебник
- учебное пособие
Год:
- 2010
Количество страниц:
114
В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Пособие включает в себя историю развития микроэлектроники, предпосылки ее появления и основные направления развития. Рассмотрены теоретические пределы миниатюризации, проблемы диагностического контроля ИС, предвестники отказов, природа и механизмы их развития. Приведены виды материалов используемых в микроэлектронике, основные технологии получения тонких пленок, методы создания и переноса изображения, а также методы модификации структур, контроля и метрологии в микроэлектронике. Дана общая характеристика СБИС и БИС, рассмотрены проблемы повышения степени интеграции. Уделено внимание проблеме перехода от микротехнологии к нанотехнологии. Предназначено для студентов и магистров, изучающих дисциплину "Физические основы микроэлектроники".
