Полное название:
Технология микро- и наноэлектроники
Университет ИТМО | Санкт-Петербург - ТМиНЭ
UptoLike
Учебно-методические материалы по дисциплине
Вейко В.П.
Вейко В.П. Опорный конспект лекций "Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике". - СПб: НИУ ИТМО, 2011. - 141 с.
Гатчин Ю.А., Ткалич В.Л., Виволанцев А.С., Дудников Е.А.
Гатчин Ю.А., Ткалич В.Л., Виволанцев А.С., Дудников Е.А. Введение в микроэлектронику: Учебное пособие. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2010. - 114 с.
Ткалич В.Л., Макеева А.В., Оборина Е.Е.
Ткалич В.Л., Макеева А.В., Оборина Е.Е. Физические основы наноэлектроники: Учебное пособие. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2011. - 83 с.
