Полное название:
Технология микро- и наноэлектроники
ЮФУ | Ростов-на-Дону - ТМиНЭ
UptoLike
Учебно-методические материалы по дисциплине
Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А.
Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А. Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники: Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. - 72 с.
