Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 104 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

106

Рис.60. Датчики влажности МДП-типа

Рис.61. Характеристики планарного кулонометрического датчика влаж-

ности при температуре 293К: 1- на воздухе, при Р = 10

Па; 2- в вакууме

Рис.62. Датчик с полимерной чувствительной пленкой:

1- пористый электрод;2- нижний гребенчатый электрод