Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 108 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

110

Рис. 63. Датчик на основе МДП-транзистора

Рис.64. Датчик влажности на ПАВ

Рис.65. Зависимость сопротивления керамического датчика со слоем

от влажности: 1 – немодифицированный; 2 – модифицированный

FeСl

; 3 – пропитанный полиэтиленгликолем