Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 148 стр.

UptoLike

150
Рис. 114. Радиопарные датчики давления (а) и толщины металлической
пленки (б). 1- диэлектрическое основание, 2- втулка, 3- гофр, 4- мембрана, 5-
радиоприемник, 6 - радиопередатчик, 7- ситалловая подложка, 8- металличе-
ская пленка
Рис. 115. Полупроводниковый индуктивный балансный сенсор