ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
153
6. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. М.: Энергоатомиз-
дат, 1983, 137с.
7. Ваганов В.И., Бекленишев В.В., Белов Н.С., Гончарова Н.И. Анализ
чувствительности тензорезисторов на прямоугольной кремниевой пластине //
Электронная измерительная техника в научных исследованиях; Под ред. А.Г.
Филлипова. М.: Энергоатомиздат, 1982. С. 3-8.
8. Зеленцов Ю.А. Анализ чувствительности интегральных тензопреобра-
зователей с прямоугольной мембраной // ПСУ, N 7, 1997. С. 19-22.
9. Егиазарян Э.Л. Способы повышения чувствительности микродатчиков,
работающих на тензоэффекте //. ПСУ, 1997, N 6. С. 31-34.
10. Петров В.В., Котов В.Н. Высокочувствительный сенсор давления //
Известия ТРТУ, №2, 1998, с. 175.
11. Петров В.В. Особенности конструкции чувствительного элемента дат-
чика малых давлений // Тр. 6-й Международной НТК “ПЭМ-99”. Дивномор-
ское. 6-11
сент. 1999 г.
12. Motorola Sensor Device Date, 1998.
13. Симонсен Э. Датчик давления типа MBS для промышленных устано-
вок // ПСУ, 1993, №5. C. 45-46.
К разделу 4
1. Волькенштейн Ф.Ф. Электроны и кристаллы. М.: Наука, 1983. 128 с.
2. Арутюнян В.М. Микроэлектронные технологии – магистральный путь
для создания химических твердотельных сенсоров // Микроэлектроника.
1991. Т. 20, N 4. С. 337.
3. Евдокимов А.В. и др. Микроэлектронные датчики химического состава
газов // Зарубежная электронная техника. 1988. Вып. 2. С.3.
4. Бутурлин А.И. и др. Газочувствительные датчики на основе
металлоок-
сидных полупроводников // Зарубежная электронная техника. 1989, N 10.
С.3.
К разделу 5
1. Бутурлин А.И. и др. Микроэлектронные датчики влажности. // Зару-
бежная электронная техника. 1984, N 9. С.3.
К разделу 6
1. Негоденко О. Н., Ковалев А. В., Холявко А. Н. Исследование планар-
ного аналога однопереходного транзистора в области малых токов // Функ-
циональные микроэлектронные устройства и их элементы. Таганрог, 1974.
Вып. 2. С. 56.
2. Негоденко О. Н., Христофоров В. Н., Ерохин А. В. Транзисторные
аналоги динисторов в высокочастотных кварцевых генераторах // Функцио-
нальные микроэлектронные устройства и
их элементы. Таганрог, 1976. Вып.
3. С. 90.
3. Капустин С. Б., Негоденко О. Н. Аналог динистора на КМОП-
транзисторах.// Функциональные микроэлектронные устройства и их элемен-
ты. Таганрог, 1978. Вып. 4. С. 62.
