Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 92 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.52. ВАХ (а) и ВФХ ДШ (б) со структурой Pd-InP на воздухе (1) и в атмо-

сфере водорода (100 ррм) (2). На (б) масштаб справа соответствует кривой 1,

слева - кривой 2

Рис. 53. Датчик водорода на тиристорном эффекте: 1 - омический кон-

такт; 2 - слой SiO

;3 - слой палладия

Рис. 54. Структурная схема кварцевых микровесов: 1, 2 - чувствитель-

ный и вспомогательный пьезокристаллы; 3, 4 - генераторы; 5 - смеситель; 6 -

частотомер; 7 - преобразователь частота-напряжение; 8 - регистрационное

устройство