Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 95 стр.

UptoLike

97
Рис. 55. Датчик на ПАВ: 1 - пьезокристаллическая подложка; 2, 3 - воз-
буждающие электроды; 4, 5 - детектирующие электроды; 6 - чувствительное
покрытие; 7, 8 - усилители; 9 – смеситель
Рис.56. Оптотермический датчик: 1 - пьезоэлектрический кристалл; 2 -
сапфировая пластина; 3 - газочувствительное покрытие; 4 - фокусирующая
система; 5 - световой затвор