Космическое материаловедение. Акишин А.И. - 129 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МГУ | Москва

Составители: 

Рубрика: 

129
ряда, где объемный заряд ионов в пучке нейтрализуется зарядом элек-
тронов (рис.4,5).
1
3
2
8
7
кислород
ксенон
5
4
Рис.4. Схема плазменно-пучкового источника: 1-полый катод, 2-
ферромагнитный промежуточный электрод, 3-анод, 4-питание защит-
ным газом, 5-пучок кислородной плазмы, 6-питание кислородом, 7-
вакуумная откачка, 8-соленоид [16]
Рис.5. Плазменная кислородная струя в вакууме из плазменно-
пучкового источника [16].
Энергия ионов регулировалась в пределах 5-30 эВ, при этом плот-
ность потока ионов на образец составляла j
и
~10
15
-10
16
и/см
2
·с,– уровень
диссоциации молекул кислорода – десятки процентов. Компоненты
плазменного пучка: О
+
; О
2
+
; О; О
2
; е.
ряда, где объемный заряд ионов в пучке нейтрализуется зарядом элек-
тронов (рис.4,5).
                                       8
                                               2

               3                                   кислород




                                                    ксенон
               5
                                               1

                                               7
                                           4
                                           4
Рис.4.   Схема плазменно-пучкового источника: 1-полый катод, 2-
ферромагнитный промежуточный электрод, 3-анод, 4-питание защит-
ным газом,    5-пучок кислородной плазмы, 6-питание кислородом, 7-
вакуумная откачка, 8-соленоид [16]




Рис.5. Плазменная кислородная струя в вакууме из плазменно-
пучкового источника [16].

   Энергия ионов регулировалась в пределах 5-30 эВ, при этом плот-
ность потока ионов на образец составляла jи~1015-1016и/см2·с,– уровень
диссоциации молекул кислорода – десятки процентов. Компоненты
плазменного пучка: О+; О2+; О; О2; е.


                                 129

Страницы