Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 57 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

СПб ГУАП | Санкт-Петербург

Составители: 

Рубрика: 

57
1.5. Ìåòðîëîãè÷åñêîå îáåñïå÷åíèå èçìåðåíèÿ ïàðàìåòðîâ
ïëàçìû è ðàñïëàâà
Ñïîñîá ìèíèìèçàöèè ïîãðåøíîñòè èçìåðåíèÿ ïàðàìåòðîâ ïëàçìû è
ðàñïëàâà òåïëîçàùèòû ïðè ïîìîùè ÇÄÏ è ÇÄÐ íà ïîñòîÿííîì òîêå çà-
âèñèò îò âûáîðà ìåòîäà èçìåðåíèé, êîíñòðóêöèè è ðàçìåðîâ äàò÷èêîâ.
Ïðè èñïîëüçîâàíèè âûðàæåíèÿ (1.94) äëÿ ðàñ÷åòà êîíöåíòðàöèè ýëåê-
òðîíîâ ïëàçìû ïî ðåçóëüòàòàì èçìåðåíèé ñîïðîòèâëåíèé ÇÄÏ íà ïîñòî-
ÿííîì òîêå çíà÷åíèå ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêîé îòíîñèòåëüíîé ïîãðåøíîñ-
òè èçìåðåíèé âåëè÷èíû N
e
ìîæíî çàïèñàòü â âèäå
()
2
2
ÇÄÏ2
22 22
12
ôÇÄÏ
1
ÇÄÏ1
2
2
ÇÄÏ1
22
ÇÄÏ1 ÇÄÏ2
ÇÄÏ2
1
ln
1,
e
ý
R
NDDl
D
R
D
R
RR
R




δ= δ+δ +δν+δ +− ×







×δ + − δ



(1.97)
ãäå δD
1
, δD
2
, δl
ÇÄÏ
ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêèå îòíîñèòåëüíûå ïîãðåøíî-
ñòè èçìåðåíèÿ ìåæöåíòðîâûõ ðàññòîÿíèé è äëèí ýëåêòðîäîâ ÇÄÏ;
δν
ýô
ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêàÿ îòíîñèòåëüíàÿ ïîãðåøíîñòü îïðåäåëåíèÿ
ýôôåêòèâíîé ÷àñòîòû ñîóäàðåíèé ýëåêòðîíîâ ñ íåéòðàëüíûìè ÷àñòèöà-
ìè; δR
ÇÄÏ1
, δR
ÇÄÏ2
ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêèå îòíîñèòåëüíûå ïîãðåøíîñ-
òè îïðåäåëåíèÿ ñîïðîòèâëåíèé ÇÄÏ.
Ïîãðåøíîñòü îïðåäåëåíèÿ âåëè÷èíû êîíöåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ ïðè
èñïîëüçîâàíèè äâóõ ïàð ÇÄÏ è ÇÄÐ ñ ðàçëè÷íûì ìåæöåíòðîâûì ðàñ-
ñòîÿíèåì (ñì. ðèñ. 1.12, à) â óñëîâèÿõ âîçäåéñòâèÿ íà íèõ èíòåíñèâíîãî
òåïëîâîãî ïîòîêà îïðåäåëÿåòñÿ ñëåäóþùèì âûðàæåíèåì:
()()
22
22
12
ôÇÄÏ
22
11
22
22
22
1p pp 1p pp
ÇÄÏ1 ÇÄÐ1
1
ïë ÇÄÏ 2 1 ïë ÇÄÐ 2
1
ln /
ln 1
ln /
1
e
ý
DD
Nl
DDd
DDd
Kl Kl
RR
KlK KlK
δ+δ
=δν +δ + + ×

−


σ σ

×− δ +δ + ×




πσ πσ


Страницы