Составители:
Рубрика:
60
ìû è êîíöåíòðàöèþ ýëåêòðîíîâ. Îäíàêî ïðè âîçäåéñòâèè íà ïîâåðõíîñòü
ÃËÀ âûñîêîèíòåíñèâíûõ òåïëîâûõ ïîòîêîâ, êàê îòìå÷àëîñü ðàíåå, ïðî-
èñõîäèò èçìåíåíèå ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ ÇÄÏ. Ââåäåíèåì ïîïðàâî÷-
íîãî êîýôôèöèåíòà (ñì. ïîäðàçä. 1.2), ó÷èòûâàþùåãî èçìåíåíèå ãåî-
ìåòðèè ýëåêòðîäîâ, â ôîðìóëû (1.91) è (1.95) ìîæíî òî÷íîñòü îïðåäå-
ëåíèÿ ïàðàìåòðîâ ïëàçìû ïðàêòè÷åñêè îñòàâèòü íà ïðåæíåì óðîâíå.
Íî òàê êàê â ïîëåòå ïðîöåññ èçìåíåíèÿ ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ ÇÄÏ íå
ìîæåò áûòü ïðîêîíòðîëèðîâàí, âñòàåò çàäà÷à êàëèáðîâêè äàò÷èêîâ â
ëàáîðàòîðíûõ óñëîâèÿõ ñ öåëüþ îïðåäåëåíèÿ ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ ÇÄÏ
äëÿ ðàçëè÷íûõ òåïëîâûõ âîçäåéñòâèé. Èññëåäîâàíèÿ â ëàáîðàòîðíûõ
óñëîâèÿõ òðåáóåò è âîïðîñ îöåíêè òîëùèíû ñëîÿ ðàñïëàâà îò ïëîòíîñòè
òåïëîâûõ ïîòîêîâ, âîçäåéñòâóþùèõ íà ÒÇÏ.
Ìåòîä êàëèáðîâêè çîíäîâûõ äàò÷èêîâ ìîæíî ïðåäñòàâèòü ñëåäóþ-
ùèì îáðàçîì. Èñõîäíûìè äàííûìè äëÿ êàëèáðîâêè äîëæíû ñòàòü çíà-
÷åíèÿ èçìåðåííûõ â ïîëåòå òåïëîâûõ ïîòîêîâ, âîçäåéñòâóþùèõ íà ïî-
âåðõíîñòü ÃËÀ â ìåñòàõ óñòàíîâêè ÇÄÏ è ÇÄÐ. Âîçäåéñòâèå ýòèõ çíà-
÷åíèé óäåëüíûõ òåïëîâûõ ïîòîêîâ íà çîíäîâûå äàò÷èêè íåîáõîäèìî
ïðîìîäåëèðîâàòü â ëàáîðàòîðíûõ óñëîâèÿõ.  êà÷åñòâå ëàáîðàòîðíîãî
èñòî÷íèêà òåïëîâîãî âîçäåéñòâèÿ ìîæíî èñïîëüçîâàòü ðàçëè÷íîãî ðîäà
ïëàçìîòðîíû. Ïðè âîçäåéñòâèè ìîäåëèðóþùèõ òåïëîâûõ ïîòîêîâ íà ÇÄÏ
îïðåäåëÿþòñÿ èçìåíåíèÿ ãåîìåòðèè âûñòóïàþùèõ ýëåêòðîäîâ äàò÷è-
êà. Ïî èçëîæåííîé â ïîäðàçä. 1.2 ìåòîäèêå îïðåäåëÿåòñÿ ïîïðàâî÷íûé
êîýôôèöèåíò K
2
, êîòîðûé èñïîëüçóåòñÿ ïðè ðàñ÷åòàõ êîíöåíòðàöèè ýëåê-
òðîíîâ è óäåëüíîé ýëåêòðîïðîâîäíîñòè ïëàçìû. Äàëåå îïðåäåëÿåòñÿ
ýëåêòðîïðîâîäíîñòü ñëîÿ ðàñïëàâà. Íàèáîëåå ïðîñòîé ïîäõîä áàçèðó-
åòñÿ íà ðàñ÷åòå âåëè÷èíû σ
ð
ïî èçìåðåííîìó âî âðåìÿ òåïëîâîãî âîç-
äåéñòâèÿ ñîïðîòèâëåíèþ R
ÇÄÐ
è îïðåäåëåíèè ñ ïîìîùüþ ìèêðîñêîïà
òîëùèíû ñëîÿ ðàñïëàâà ïîñëå òåïëîâîãî âîçäåéñòâèÿ. Ïîãðåøíîñòü
òàêîé îöåíêè îïðåäåëÿåòñÿ òåì, ÷òî íå âñÿ âèçóàëüíî èçìåðåííàÿ òîë-
ùèíà âíîñèò îäèíàêîâûé âêëàä â ñóììàðíîå ñîïðîòèâëåíèå ïëåíêè ðàñ-
ïëàâà, è â ñèëó ýòîãî ïîëó÷åííûé ðåçóëüòàò ÿâëÿåòñÿ íèæíåé ãðàíèöåé
çíà÷åíèé σ
ð
. Äðóãîé ïîäõîä îñíîâàí íà îïðåäåëåíèè óäåëüíîé ýëåêòðî-
ïðîâîäíîñòè σ
ð
è òîëùèíû ñëîÿ ðàñïëàâà l
ð
ïî çîíäîâûì è ðàäèîìåòðè-
÷åñêèì èçìåðåíèÿì.
Äëÿ ðåàëèçàöèè ïðåäëàãàåìîãî ìåòîäà êàëèáðîâêè íåîáõîäèìî èñ-
ïîëüçîâàíèå ñòåíäîâîãî êîìïëåêñà, êîòîðûé áû ïî ñâîèì õàðàêòåðèñ-
òèêàì ïîçâîëÿë îñóùåñòâëÿòü êàëèáðîâêó çîíäîâûõ äàò÷èêîâ ïî âûøå-
èçëîæåííîé ìåòîäèêå.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 58
- 59
- 60
- 61
- 62
- …
- следующая ›
- последняя »
