Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 73 стр.

UptoLike

73
òåëüíî ñíèæàåò ïîãðåøíîñòü èç-
ìåðåíèÿ â ñðàâíåíèè ñ êàíàëîì,
çàïîëíåííûì çàìàçêîé ñ âîçäóø-
íûì çàçîðîì (êðèâàÿ 1). Êðèâàÿ
3 ïîãðåøíîñòü èçìåðåíèÿ òåì-
ïåðàòóð òåïëîïðèåìíèêîì, óñòà-
íîâëåííûì â ïðîöåññå èçãîòîâ-
ëåíèÿ îáðàçöà.  ýòîì ñëó÷àå ïî-
ãðåøíîñòü ìåíüøå ïîãðåøíîñòè,
âíîñèìîé ñàìèì èçìåðèòåëåì.
Òàêèì îáðàçîì, ïîëó÷åííûå
ðåêîìåíäàöèè ïî óñòàíîâêå òåð-
ìîïàð â ÇÄÏ ìîæíî ñâåñòè ê ñëå-
äóþùåìó: íåîáõîäèìî óñòàíîâ-
êó òåðìîïàð âûïîëíÿòü íåïîñðåäñòâåííî ïðè ïðåññîâàíèè ÇÄÏ è ðàñ-
ïîëàãàòü â èçîòåðìè÷åñêîé ïëîñêîñòè. Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ äàò÷èêà òåï-
ëîâîãî ïîòîêà ìîæíî èñïîëüçîâàòü øëèêåðíî-îáæèãîâóþ òåõíîëîãèþ,
â êà÷åñòâå èñõîäíîãî ìàòåðèàëà ïðèìåíèòü ìåëêîçåðíèñòûé ïîðîøîê
îêèñè êðåìíèÿ âûñîêîé ÷àñòîòû (99,8 %) ñ ðàçìåðàìè ÷àñòèö ïðèìåð-
íî 1,0 ìêì. Êîíñòðóêöèÿ äàò÷èêà òåïëîâîãî ïîòîêà, ðàçðàáîòàííàÿ ïî
ýòîìó ïðèíöèïó, ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 2.7.
10
0
!
3
1, 38 10
3
2,0 10
0
t,
ãðàä
t/x,
ãðàä/ì
Ðèñ. 2.6. Çàâèñèìîñòü äèíàìè÷åñêîé ïîãðåø-
íîñòè èçìåíåíèÿ òåìïåðàòóðû t îò ñêîðîñ-
òè èçìåíåíèÿ òåìïåðàòóðû ìàññèâà
3
0,69 10
!
1
!
"
#
$
Ðèñ. 2.7. Êîíñòðóêöèÿ ÇÄÏ: 1  äàò÷èê òåïëîâîãî ïîòîêà; 2  ñïàé áëèæíåé òåðìîïàðû;
3  ñïàé äàëüíåé òåðìîïàðû; 4  ñâîáîäíûå êîíöû òåðìîïàð; 5  êåðàìè÷åñêàÿ âòóëêà;
6  âòóëêà èç ïåíîêåðàìèêè äëÿ îðèåíòàöèè ñâîáîäíûõ êîíöîâ