Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 106 стр.

       Испытание лабораторного макета с одним датчиком Холла подтвер-
дили его работоспособность. Лабораторный макет имеет размеры (115×
65×32) мм. Порог срабатывания макета может быть установлен в допусти-
мых пределах (0,01; 0,1 Вт/м2).

     3.8 Ваттметр на эффекте Холла для контроля больших
уровней импульсной проходящей мощности СВЧ.
     Измерение больших уровней импульсной проходящей мощности с
помощью известных методов встречает значительные затруднения, которые
связаны с нарушением структуры поля в передающей линии, недолговечно-
стью и малой надежностью используемых индикаторов. Поэтому представ-
ляет интерес исследовать возможность использования двухэлектродного
датчика Холла в ваттметре для измерения больших уровней импульсной
проходящей мощности СВЧ в волноводном тракте.

       Двухэлектродные датчики Холла могут быть как кристаллическими
с подложкой и без нее, так и плёночными. В качестве подложки берется
электроизоляционный материал с диэлектрической проницаемостью, близ-
кой к единице. Размеры датчиков обычно выбираются так, чтобы ширина
была в 2—3 раза меньше длины, а толщина - (0,1--0,15) мм для кристалли-
ческого и (1 --10) мкм для пленочного.

       Холловские электроды выполняются точечными. Размеры контактов
должны обеспечить электрическую и механическую прочность, но быть
по возможности     наименьшими, так как размеры контактной      поверх-
ности (ширина и глубина электрода) влияют на чувствительность датчика.
При работе в диапазоне СВЧ двухэлектродные датчики изготовлялись из
сурьмянистого индия (InSb) и мышьяковистого индия (InAs).Контакты к
датчикам припаиваются чистым индием и припоями на его основе.
       Рассчитаем максимально допустимую СВЧ мощность, передаваемую
по волноводу с использованием датчика Холла. С этой целью воспользуемся



                                                                     106