ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
261
прибором. Из всех перечисленных в табл. 10 методов течеискания наиболее
частое применение находят вакуумно-жидкостный, погружением в нагретую
жидкость, масс-спектрометрический и электронозахватный. Первые два метода
используют для обнаружения грубых течей в соединениях корпусов
полупроводниковых приборов и микросхем. Для обнаружения тонких течей
(примерно
13
10
−
м
3
•Па/с) используют масс-спектрометрический метод в двух
вариантах – способом обдува и с помощью вакуумированной камеры с
предварительной опрессовкой изделий гелием. Электронозахватный метод
может быть использован для поиска как грубых течей, так и тонких.
Таблица 10
Основные методы течеискания и их характеристики
Методы контроля
герметичности
Пробное вещество
Минимальная
регистрируемая
течь, м
3
×Па/с
(порядок)
Опрессовка Воздух (смесь воздуха с аммиаком)
3×10
–9
10
–8
–10
–9
Вакуумно-жидкостный Воздух 10
–9
Погружением в нагретую
жидкость
Воздух
5×10
–7
Косвенные Вода, ацетон 10
–8
Высококачественным
разрядом
Воздух, пары растворителей 10
–7
Радиоактивный Радиоактивный газ 10
–12
Люминесцентный Раствор люминофора 10
–10
Галоидный Галоидсодержащие газы 10
–8
Масс-спектрометрический Гелий 10
–13
Диффузионно-
магниторазрядный
Гелий 10
–9
Электронозахватный Воздух, гексафторид серы 10
–10
Обычно на практике необходимо определять не только наличие натекания,
но и место нахождения дефекта в соединении, для того чтобы попытаться
установить причину его возникновения. С помощью гелиевого течеискателя это
сделать практически нельзя, так как даже при очень аккуратной работе можно
указать только область нахождения течи. При необходимости проведения
анализа брака
место течи может быть найдено люминесцентным методом.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 260
- 261
- 262
- 263
- 264
- …
- следующая ›
- последняя »
