Материалы для акустоэлектронных устройств. Балышева О.Л. - 29 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

29
4.7. Угол отклонения потока энергии
Если направление распространения акустической волны в мо!
нокристалле не совпадает с так называемым направлением чис!
той моды (угловое положение которой задается углом y
0
), то име!
ет место отклонение потока энергии от направления распростра!
нения на угол j (рис. 12). Для направления чистой моды j = 0 и
отклонение потока энергии отсутствует. Для угла j справедливо
следующее соотношение:
12123 454
, (23)
где g – параметр анизотропии; y – угол, определяющий направ!
ление распространения волны (фазового фронта волны). При от!
клонении потока энергии положение выходного преобразователя
необходимо скорректировать, что, естественно, приводит к удоро!
жанию устройства. К отличию угла j от нуля может привести и
разориентация углового положения подложки в процессе изготов!
ления.
Желательно выбирать материалы, у которых j = 0, однако на прак!
тике в условиях компромисса между требованиями к различным пара!
метрам материалов это требование не является определяющим. Важно
подчеркнуть, что отклонением потока энергии можно управлять за счет
изменения положения преобразователей относительно друг друга, и
соответствующие потери могут быть устранены на этапе проектирова!
ния или изготовления АЭУ.
Потери, вызванные отклонением потока энергии, также вносят
вклад в общие потери устройства. Эти потери существенно зависят
от применяемого среза монокристалла и могут достигать 2–6 дБ [3].
Значения угла j для некоторых материалов приведены в табл. 2.
5. СРАВНИТЕЛЬНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПАРАМЕТРОВ
МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ АЭУ
Основные параметры некоторых материалов для акустоэлект!
ронных устройств приведены в табл. 3.
Среди всех материалов для массового производства АЭУ про!
должают лидировать кристаллы кварца (SiO
2
), ниобата лития
(LiNbO
3
) и танталата лития (LiTaO
3
).
a0кварц (двуокись кремния) – как природный, так и синтетичес!
кий монокристалл, механически прочный (твердость равна 7 по шкале
Мооса), плотность равна 2,65 г/см
3
, температура плавления – 1750 °С.
При температуре 573 °С a!кварц (низкотемпературный кварц) пре!