Материалы для акустоэлектронных устройств. Балышева О.Л. - 35 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

35
причине для него не приемлемы методы очистки поверхности,
используемые для кварца и ниобата лития [3].
Кварц долгое время был одним из основных материалов для
АЭУ, главным образом, благодаря высокой температурной ста!
бильности. Были предприняты значительные усилия по поиску и
синтезу новых материалов, аналогичных кварцу по температур!
ным характеристикам, но имеющих большее, чем у кварца, зна!
чение КЭМС. Первыми результатами этих усилий стали берлинит и
тетраборат лития и материалы, применяемые относительно не!
давно, – лангасит, ланганит, фосфат галлия и лангатат [15, 16].
Лангасит, ланганит, лангатат и фосфат галлия принадлежат к
тому же классу симметрии, что и кварц. Эти материалы имеют
более высокий КЭМС, температурную стабильность, схожую с тем!
пературной стабильностью кварца, они не растворимы в воде, по!
зволяют работать при более высоких температурах, чем кварц,
имеют меньшие, чем у кварца, значения скорости ПАВ, связан!
ные с более высокой плотностью и большими значениями кон!
стант диэлектрической проницаемости [18].
a0берлинит – синтетический монокристалл, имеющий такую
же кристаллическую структуру, как и кварц. При температуре
Кюри 584 °С a!модификация переходит в b!модификацию. Ско!
рость распространения ПАВ в берлините равна 2700–3150 м/с,
величина k
2
порядка 0,5%. По сравнению с кварцем, берлинит
имеет более выраженные пьезоэлектрические свойства и больший
КЭМС. Так же как у кварца, постоянные жесткости и податливо!
сти имеют положительные и отрицательные температурные коэф!
фициенты, что обеспечивает наличие срезов с нулевым ТКЗ. Из
однократно повернутых срезов берлинита лучшие характеристи!
ки имеет срез (0;80,4;0°), у которого k
2
равен 0,63 %, что почти в
6 раз выше значения для ST!кварца, и нулевые значения ТКЗ и
угла j, однако он уступает ST!кварцу по дифракционным свой!
ствам [8]. Срез берлинита (76,8;90;11,5°) сочетает хорошую термо!
стабильность (ТКЗ = 4°10
–6
1/°С) и минимальную дифракцию.
Основная трудность при получении кристаллов берлинита состо!
ит в существовании так называемых двойниковых областей, су!
щественно снижающих качество кристаллов.
Тетраборат лития, в отличие от кварца и берлинита, не под!
вержен эффекту двойникования. Плотность тетрабората лития со!
ставляет 2,45 г/см
3
, твердость равна 6 по шкале Мооса, темпера!
тура плавления – 917 °С . Наиболее интересен срез (90;90;90°), у
которого k
2
= 1,2%, что в 10 раз превышает значение для ST!среза