Электрохимия полупроводников. Батенков В.А. - 160 стр.

Глава 2. АНОДНОЕ ПОВЕДЕНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ                                   54
2.1. Анодное растворение германия                                             54
2.1.1. Анодное растворение германия р-типа                                    54
2.1.2. Анодное растворение германия n-типа                                    56
2.1.3. Анодное окисление германия                                             59
2.2. Механизм анодного растворения германия                                   61
2.2.1. Механизм анодного растворения германия до Ge (IV)                      61
2.2.2. Mеханизм анодного растворения германия до Ge (II)                      63
2.2.3. Общая схема анодного растворения германия                              65
2.2.4. Природа коэффициента умножения тока                                    66
2.2.5. Механизм анодного растворения германия в растворах HF                  67
2.3. Анодное растворение кремния                                              68
2.3.1. Анодное растворение кремния p-типа в растворах HF                      69
2.3.2. Анодное растворение кремния n-типа                                     70
2.3.3. Механизм анодного растворения кремния в концентрированных растворах HF 71
2.3.4. Гидридный механизм анодного растворения кремния                        72
2.3.5. Механизм анодного растворения кремния в разбавленных растворах HF      74
2.4. Анодное растворение арсенида галлия                                      74
2.4.1. Особенности строения и электрохимии полупроводниковых соединений       74
2.4.2. Свойства арсенида галлия                                               75
2.4.3. Анодное растворение арсенида галлия р-типа                             75
2.4.4. Механизм анодного растворения арсенида галлия                          76
2.4.5. Анодное растворение арсенида галлия n-типа                             76
2.4.6. Анализ результатов анодного растворения арсенида галлия n-типа         78
2.5. Природа предельного анодного тока                                        80
2.6. Анодирование полупроводников                                             81
2.6.1. В в е д е н и е                                                        81
2.6.2. Общие закономерности анодирования                                      83
2.6.3. Кинетика и механизм роста анодных пленок                               84
2.6.4. Анодирование антимонида индия                                          86
2.7 Практика анодного растворения и анодирования полупроводников              87
2.7.1. Анодное полирование и локальное растворение полупроводников            87
2.7.2. Анодирование полупроводников                                           89
2.7.3. Методы измерения толщины анодной плёнки                                90
Вопросы                                                                       91
Задачи                                                                        93
Литература                                                                    95

Глава 3. КАТОДНЫЕ РЕАКЦИИ НА ПОЛУПРОВОДНИКАХ                                 98
3.1. В в е д е н и е                                                         98
3.1.1. Значение катодных процессов, первые работы                            98
3.1.2. Общие схемы катодных реакций                                          98
3.2. Выделение водорода, гидридов                                            99
3.2.1. Германий                                                              99
3.2.2. Арсенид галлия                                                       100
3.3. Восстановление окислителей                                             101
3.3.1. Восстановление окислителей без внешнего тока                         101
3.3.2. Катодное восстановление окислителей                                  102
3.4. Электроосаждение металлов (теория)                                     102
3.4.1. Стадии катодного выделения металлов                                  102
3.4.2. Факторы, влияющие на катодное выделение металлов                     104
3.4.3. Электроосаждение сплавов                                             106

                                     160