Интегральные устройства РЭ. Белова И.В. - 46 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Металлические электроды ПЗС называют затворами. Если к

любому затвору приложить отрицательное напряжение (для подложки n-типа

проводимости), то под дейс твием возникающего электрического поля электро-

ны, являющиеся основными носителями в подложке, уходят от поверхности

вглубь полупроводника. У поверхности образуется обедненная область, кото-

рая на энергетической диаграмме представляет собой потенциальную яму

для

неосновных носителей–дырок. Глубина этой области зависит от величины при-

ложенного напряжения, и в соответс твии с формулой

где ε – диэлектрическая проницаемость диэлектрика;

e - заряд электрона;

– концентрация ионизированных доноров.

По пада я в эту область, дырки под действием электрического поля затвора

притягиваются к поверхности полупроводника и локализуются в узком инвер-

сионном слое. Заряд неосновных носителей, инжектированный каким-либо об-

разом в область потенциальной ямы, может храниться в ней без искажений в

течение десятков миллисекунд. Для перемещения заряда (динамическая

неод-

нородность) вдоль поверхности к соседнему электроду прикладывается более

отрицательное напряжение, которое формирует под этим электродом более

глубокую потенциальную яму. Под действием диффузии, дрейфа и возникаю-

щего в коротком зазоре продольного поля дырки перетекают в более глубокую

потенциальную яму соседнего затвора (рис. 3.2).