Медицинские приборы, аппараты, системы и комплексы. Часть 1. Технические методы и аппараты для экспресс-диагностики. Бердников А.В - 171 стр.

тонкий слой оксида олова (SnO2), легированного элементами, обладающими
каталитическими свойствами (Pt, Cu, Ni, Pd), чтобы обеспечить более высо-
кую чувствительность полупроводника к конкретному типу газа примеси.
При нагреве сенсора до рабочей температуры (около 400ОС) при помощи на-
гревательного элемента, выполненного в конструктиве с датчиком, происхо-
дит адсорбция содержащегося в воздухе кислорода на поверхность сенсора,
имеющую мелкозернистую структуру. Протекание адсорбции зависит от
концентрации газа примеси. В результате поверхностных эффектов изменя-
ется электрическая проводимость сенсора. Отклик датчика выражается через
изменение его сопротивления в зависимости от концентрации газа, изме-
няющего адсорбцию кислорода на материале сенсора. Быстрота отклика за-
висит от модели датчика и конкретного газа примеси. Зависимость сопротив-
ления датчика от концентрации газа, примеси линейна в логарифмическом
масштабе для рабочего диапазона концентраций (от нескольких миллионных
долей (ppm) до нескольких тысяч ppm) (рис. 3.16). Датчик проявляет чувст-
вительность к различным типам газов примеси одновременно, но оптималь-
ная селективность к определенному типу обеспечивается, во-первых, путем
ввода специальных легирующих добавок в оксид олова на этапе изготовле-
ния и, во-вторых, выбором рабочей температуры сенсора, что достигается
подачей на нагревательный элемент определенного постоянного напряжения.




            Рис. 3.16. Датчик TGS 2611 для обнаружения газов.




                                                                      171