Рабочие программы по дисциплинам кафедры физической и коллоидной химии. Безносюк С.А - 93 стр.

     Анодное растворение арсенида галлия р-типа. Влияние на кинетику
анодного растворения полупроводника состава раствора, его рН, поверх-
ности анода. Наклон анодных кривых. Выход по току, порядок реакции
по ОН-ионам. Механизм анодного растворения арсенида галлия.
     Анодное растворение арсенида галлия n-типа. Торможение анодно-
го процесса, его зависимость от концентрации донорной примеси, кри-
сталлографической ориентации, освещения, состава раствора. Эмпириче-
ская взаимосвязь: а) наклона анодных кривых и тока обмена с концен-
трацией носителей, б) анодного тока с перенапряжением.
     Анодное растворение других соединений: АIIIВV (фосфидов галлия
и индия, арсенида индия, антимонидов галлия и индия), соединений
АIIВVI, халькогенидов элементов II, III и IV групп.
     3.4. Природа предельного анодного тока
     Существующие теории униполярной проводимости контакта по-
лупроводника с электролитом, металлом; их несогласованность с экс-
периментом. Основные положения эстафетной теории переноса тока на
контакте и в полупроводнике. Роль хемосорбция кислорода на поверх-
ности полупроводника и многоступенчатой ионизации атомов донорной
примеси в ОПЗ на эстафетный переход электронов из электролита и
валентной зоны в зону проводимости. Согласие теории с эксперимен-
том.
      3.5. Анодирование полупроводников
      Введение. Основные понятия, термины. Историческая справка. Зна-
чение и применение анодирования полупроводников.
      Общие закономерности анодирования. Общий вид анодной кри-
вой I–E, отражающий стадии активации и пассивации. Виды и причины
пассивации и транспассивации. Кинетика роста анодных пленок. Взаимо-
связь ионного тока в анодной пленке с напряженностью поля в ней; сла-
гаемые перенапряжения. Зависимость перенапряжения от плотности то-
ка, толщины пленки от времени при постоянной плотности анодного то-
ка, напряженности поля от приложенного напряжения. Способы измере-
ния толщины анодной пленки.
      Антимонид индия. Общий вид анодной кривой. Характеристика ее
отдельных участков. Стадии окисления антимонида индия. Зависимость
кинетики анодирования антимонида индия от состава электролита.
     3.6. Практика анодного растворения и анодирования
полупроводников
     Анодное полирование и локальное растворение полупроводников.
Условия их осуществления. Техника электрополирования и анодной рез-
ки полупроводников. Примеры: германий, арсенид галлия.

                                                                  93