Моделирование поверхностных свойств полупроводников. Бормонтов Е.Н - 23 стр.

UptoLike

23
Дополнительные контрольные вопросы
1.Назовите основные параметры полупроводника , характеризующие его
объемное сопротивление (с указанием размерности ), раскройте их физический
смысл и покажите взаимосвязь между параметрами .
2.Назовите основные параметры приповерхностной ОПЗ полупроводника (с
указанием размерности ), раскройте физический смысл этих параметров и
покажите их связь с другими параметрами .
3.От чего зависят масштабные” коэффициенты: напряженности
электрического поля на поверхности E
M
, плотности заряда ОПЗ Q
M
, удельной
приповерхностной емкости C
M
и поверхностной проводимости G
M
для различных
полупроводниковых материалов. Указать их размерность.
4.От каких параметров заданного полупроводникового материала зависят
масштабные коэффициенты E
M
, Q
M
, C
M
, G
M
?
5.Какими функциями определяются зависимости E
S
, Q
SC
, C
SC
, G
S
от
поверхностного потенциала ?
6.Определите характерные интервалы изменения поверхностного потенциала
для полупроводников n и p-типа проводимости с заданным удельным
сопротивлением.
7.Объясните зависимость плотности заряда ОПЗ Q
SC
и соответствующей
приповерхностной емкости C
SC
от поверхностного потенциала Y
S
.
8.Объясните зависимость поверхностной проводимости от поверхностного
потенциала Y
S
.
9.Какой функцией определяется зависимость потенциала в ОПЗ
полупроводника от координаты?
Литература
1. Гаррэт К., Браттэйн В . Физическая теория поверхности полупроводника //
Проблемы физики полупроводников. - М .,1957. С. 345-365.
2. Кингстон Р., Нойштадтер З. Вычисление пространственного заряда
электрического поля и концентрации свободных носителей тока на поверхности
полупроводника // Проблемы физики полупроводников. М ., 1957. С.298-301.
3.Шалимова К . В . Физика полупроводников. –М ., 1985. –С. 282-293.
4.Бормонтов Е.Н. Физика и метрология МДП-структур . Воронеж, 1997.-
С.80-88.
5.Зи С. Физика полупроводниковых приборов: Кн.1.-М ., 1984. С. 381-384.
Составители : Бормонтов Евгений Николаевич
Хухрянский Михаил Юрьевич
Редактор: Тихомирова Ольга Александровна
                          Д ополнительные контрольные вопросы

        1.Н а зо ви те о сно вные па р а ме тр ы по лупр о во дни ка , ха р а кте р и зую щ и е е го
о б ъ е мно е со пр о ти вле ни е (с ука за ни е м р а зме р но сти ), р а скр о йте и х ф и зи че ски й
смысл и по ка ж и те вза и мо связьме ж ду па р а ме тр а ми .
        2.Н а зо ви те о сно вные па р а ме тр ы пр и по ве р хно стно й О П З по лупр о во дни ка (с
ука за ни е м р а зме р но сти ), р а скр о йте ф и зи че ски й смысл эти х па р а ме тр о в и
по ка ж и те и х связьс др уги ми па р а ме тр а ми .
        3.О т че го        за ви сят “ма сш та б ные ” ко э ф ф и ци е нты: на пр яж е нно сти
э ле ктр и че ско го по ля на по ве р хно сти EM, пло тно сти за р яда О П З QM, уде льно й
пр и по ве р хно стно й е мко сти CM и по ве р хно стно й пр о во ди мо сти GM для р а зли чных
по лупр о во дни ко вых ма те р и а ло в. У ка за тьи х р а зме р но сть.
        4.О т ка ки х па р а ме тр о в за да нно го по лупр о во дни ко во го ма те р и а ла за ви сят
ма сш та б ные ко э ф ф и ци е нтыEM, QM, CM, GM?
        5.Ка ки ми ф ункци ями о пр е де ляю тся за ви си мо сти               ES, QSC, CSC, GS о т
по ве р хно стно го по те нци а ла ?
        6.О пр е де ли те ха р а кте р ные и нте р ва лы и зме не ни я по ве р хно стно го по те нци а ла
для по лупр о во дни ко в n и p-ти па пр о во ди мо сти с за да нным уде льным
со пр о ти вле ни е м.
        7.О б ъ ясни те за ви си мо сть пло тно сти за р яда О П З QSC и со о тве тствую щ е й
пр и по ве р хно стно й е мко сти CSC о тпо ве р хно стно го по те нци а ла YS.
        8.О б ъ ясни те за ви си мо сть по ве р хно стно й пр о во ди мо сти о т по ве р хно стно го
по те нци а ла YS.
        9.Ка ко й ф ункци е й о пр е де ляе тся за ви си мо сть по те нци а ла в О П З
по лупр о во дни ка о тко о р ди на ты?

                                             Л итерату ра

       1. Га р р э т К., Бр а ттэ йн В . Ф и зи че ска я те о р и я по ве р хно сти по лупр о во дни ка //
П р о б ле мыф и зи ки по лупр о во дни ко в. - М .,1957. – С. 345-365.
       2. Ки нгсто н Р., Н о йш та дте р З. В ычи сле ни е пр о стр а нстве нно го за р яда
э ле ктр и че ско го по ля и ко нце нтр а ци и сво б о дных но си те ле й то ка на по ве р хно сти
по лупр о во дни ка // П р о б ле мыф и зи ки по лупр о во дни ко в. – М ., 1957. – С.298-301.
       3.Ш а ли мо ва К. В . Ф и зи ка по лупр о во дни ко в. –М ., 1985. –С. 282-293.
       4.Бо р мо нто в Е.Н . Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур . –В о р о не ж , 1997.-
С.80-88.
       5.Зи С. Ф и зи ка по лупр о во дни ко вых пр и б о р о в: Кн.1.-М ., 1984. – С. 381-384.


       Со ста ви те ли : Бо р мо нто в Евге ни й Н и ко ла е ви ч
                         Х ухр янски й М и ха и л Ю р ье ви ч

       Ре да кто р : Ти хо ми р о ва О льга Але кса ндр о вна



                                                       23