ВУЗ:
Составители:
Учебное издание
БРУСЕНЦОВ Юрий Анатольевич,
МИНАЕВ Александр Михайлович,
ФИЛАТОВ Иван Сергеевич
МАТЕРИАЛЫ ТВЁРДОТЕЛЬНОЙ
МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Учебное пособие
Редактор Т.М. Глинкина
Инженер по компьютерному макетированию М.С. Анурьева
Подписано в печать 30.03.2012.
Формат 60 × 84 / 16. 4,65 усл. печ. л. Заказ № 127
Издательско-полиграфический центр ФГБОУ ВПО «ТГТУ»
392000, г. Тамбов, ул. Советская, д. 106, к. 14
