Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 2 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МГТУ им. Баумана | Москва

Составители: 

Рубрика: 

2
УДК 361.3.06; 621.382
Н
ББК
Р е ц е н з е н т ы
Редакционный совет: Бакулев П.А., Воскресенский Д.И. (председатель),
Карташев В.Г., Кулешов В.Н., Митрохин В.Н., Никитин О.Р., Никольский В.М.,
Смольский С.М., Ушаков В.Н., Федоров И.Б.
Серия «
Конспекты лекций по радиотехническим дисциплинам»
Выпуск 1
БУЛЫГИНА Е.В., МАКАРЧУК В.В., ПАНФИЛОВ Ю.В., ОЯ Д.Р., ШАХНОВ В.А.
Н ___ Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование: Учебное
пособие для Вузов. – М.: САЙНС-ПРЕСС, 2006. – 80 с.: ил.
ISBN 5-94818-001-5
В пособии изложены базовые моменты теории и практики формирвоания и исследований
наноструктурированных материалов. Приведен анализ наноразмерных структур,
особенностей их свойств, методов изготовления и возможностей применения в приборных
устройствах. Рассмотрены принципиальные возможности применения опаловых матриц для
получения наноразмерных структур. Приведена оценка различных технологических методов
нанесения металлических и изоляционных слоев на поверхность опаловых матриц.
Рассмотрены методы нанесения тонких пленок в вакууме и электрохимического осаждения
на поверхность опаловых матриц. Пособие разработано на основе курсов лекций, которые
авторы читают в МГТУ им.Н.Э.Баумана на кафедрах «Проектирование и технология
производства ЭС» (ИУ4) (http://iu4.bmstu.ru) и МТ11 «Технологии электронного
машиностроения».
Для студентов, аспирантов и инженеров, специализирующихся в исследованиях
наноразмерных структур и методов их изготовления.
ISBN 5-94818-001-5
УДК 361.3.06;
621.382
ББК
© САЙНС-ПРЕСС, 2006
© Коллектив авторов, 2006
УДК 361.3.06; 621.382
Н
ББК

                                 Рецензенты


Редакционный совет: Бакулев П.А., Воскресенский Д.И. (председатель),
Карташев В.Г., Кулешов В.Н., Митрохин В.Н., Никитин О.Р., Никольский В.М.,
Смольский С.М., Ушаков В.Н., Федоров И.Б.




        Серия «Конспекты лекций по радиотехническим дисциплинам»

                                     Выпуск 1


БУЛЫГИНА Е.В., МАКАРЧУК В.В., ПАНФИЛОВ Ю.В., ОЯ Д.Р., ШАХНОВ В.А.
Н ___ Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование: Учебное
пособие для Вузов. – М.: САЙНС-ПРЕСС, 2006. – 80 с.: ил.

ISBN 5-94818-001-5

   В пособии изложены базовые моменты теории и практики формирвоания и исследований
наноструктурированных материалов. Приведен анализ наноразмерных структур,
особенностей их свойств, методов изготовления и возможностей применения в приборных
устройствах. Рассмотрены принципиальные возможности применения опаловых матриц для
получения наноразмерных структур. Приведена оценка различных технологических методов
нанесения металлических и изоляционных слоев на поверхность опаловых матриц.
Рассмотрены методы нанесения тонких пленок в вакууме и электрохимического осаждения
на поверхность опаловых матриц. Пособие разработано на основе курсов лекций, которые
авторы читают в МГТУ им.Н.Э.Баумана на кафедрах «Проектирование и технология
производства ЭС» (ИУ4) (http://iu4.bmstu.ru) и МТ11 «Технологии электронного
машиностроения».
       Для студентов, аспирантов и инженеров, специализирующихся в исследованиях
наноразмерных структур и методов их изготовления.

ISBN 5-94818-001-5
                                                    УДК 361.3.06; 621.382
                                                    ББК
                                                   © САЙНС-ПРЕСС, 2006
                                                   © Коллектив авторов, 2006

                                                                                  2

Страницы