Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 65 стр.

UptoLike

Рубрика: 

7.2. Лабораторная работа 2. Визуализация наноструктур с помощью СЗМ.
Цели работы: Получить практические навыки в области обработки и количественного
анализа СЗМ изображений.
Методические указания
Прежде чем приступить к работе на сканирующем зондовом микроскопе
NanoEducator следует изучить руководство пользователя прибора.
Оборудование и принадлежности
Прибор NanoEducator, Устройство для травления игл.
Образцы для проведения измерений:
Образец 1 - дифракционная решетка, покрытая токопроводящей пленкой
Образец 2 - пленка золота на кремниевой подложке
Подготовка лабораторной работы
Наименование этапа (выполняется преподавателем или инженером)
1 Выбор образца для исследования: тестовый образец TGZ3 (маркировка фирмы НТ
МДТ) или любой другой по выбору преподавателя
2 Подбор зонда с наиболее характерной амплитудно-частотной характеристикой
(одиночный симметричный максимум)
3 Получение эталонного изображения поверхности исследуемого образца для
последующей проверки
Проведение лабораторной работы
Этапы проведения работы
1 Изучение теоретической части студентов и подготовка краткого конспекта
2 Получение изображения выполняется на одном приборе под присмотром
преподавателя
3 Обработка экспериментальных данных каждым студентом индивидуально
(практическая часть работы выполняется на одном занятии и занимает 4 часа)
4 Задания
Образец 1:
Выполнить визуализацию поверхности образцов с использованием следующих
методов:
ССМ - Метод постоянной силы + Метод отображения фазы
СТМ - Метод постоянного тока
Образец 2:
Выполнить визуализацию поверхности образцов с использованием следующих
методов:
ССМ - Метод постоянной силы
СТМ - Метод постоянного тока
5 Анализ результатов работы, оформление отчета и его защита
 7.2. Лабораторная работа № 2. Визуализация наноструктур с помощью СЗМ.
Цели работы: Получить практические навыки в области обработки и количественного
анализа СЗМ изображений.

Методические указания
Прежде чем приступить к работе на сканирующем зондовом микроскопе
NanoEducator следует изучить руководство пользователя прибора.

Оборудование и принадлежности
Прибор NanoEducator, Устройство для травления игл.

Образцы для проведения измерений:
Образец 1 - дифракционная решетка, покрытая токопроводящей пленкой
Образец 2 - пленка золота на кремниевой подложке

Подготовка лабораторной работы
№          Наименование этапа (выполняется преподавателем или инженером)
1          Выбор образца для исследования: тестовый образец TGZ3 (маркировка фирмы НТ
           МДТ) или любой другой по выбору преподавателя
2          Подбор зонда с наиболее характерной амплитудно-частотной характеристикой
           (одиночный симметричный максимум)
3          Получение эталонного изображения поверхности исследуемого образца для
           последующей проверки

Проведение лабораторной работы
   №                                   Этапы проведения работы
1           Изучение теоретической части студентов и подготовка краткого конспекта
2           Получение изображения выполняется на одном приборе под присмотром
            преподавателя
3           Обработка экспериментальных данных каждым студентом индивидуально
            (практическая часть работы выполняется на одном занятии и занимает 4 часа)
4           Задания
            Образец 1:
            Выполнить визуализацию поверхности образцов с использованием следующих
            методов:
            ССМ - Метод постоянной силы + Метод отображения фазы
            СТМ - Метод постоянного тока
            Образец 2:
            Выполнить визуализацию поверхности образцов с использованием следующих
            методов:
            ССМ - Метод постоянной силы
            СТМ - Метод постоянного тока
5           Анализ результатов работы, оформление отчета и его защита