Проектирование фильтров на поверхностно-акустических волнах. Чернышова Т.И. - 11 стр.

UptoLike

увеличивающихся до а
б
= (15…20) дБ при расстройке на 8 10 полос. Взвешивание селективным удалением
электродов точнее аппроксимирует заданную импульсную характеристику при увеличении числа электродов.
Поэтому метод лучше подходит для реализации узких полос пропускания.
Значительно расширить полосу пропускания по сравнению с эквидистантными ВШП возможно путем
взвешивания пространственного периода электродов вдоль или поперек направления распространения ПАВ
(табл. 1, преобразователи 16 20). Реализация заданных передаточных функций неэквидистантного ВШП со
взвешиванием периода вдоль направления распространения ПАВ аналогична получению спектра сигнала с
комбинацией частотной и широтно-импульсной модуляцией. Вследствие френелевских пульсаций АЧХ такого
ВШП сильно изрезана. Кроме того, при несимметричном взвешивании ФЧХ преобразователя нелинейна и так-
же пульсирует. Снизить пульсации АЧХ и ФЧХ возможно путем дополнительного амплитудного взвешивания
(табл. 1, преобразователь 18), приводящего к ухудшению прямоугольности. Реализация сравнительно узких
полос пропускания (менее 5…10 %) с помощью неэквидистантных ВШП затруднена, так как при этом требует-
ся высокая разрешающая способность технологического оборудования для обеспечения малых отличий сосед-
них периодов.
В веерных ВШП со взвешиванием периода электродов поперек направления распространения все электро-
ды наклонены на малый угол Θ, который равен нулю в центре и возрастает до Θ
макс
на краях преобразователя.
Вследствие расхождения пучка ПАВ, вызывающего провал в АЧХ, угол Θ
макс
ограничен 3…5°. Веерные преоб-
разователи позволяют реализовать взвешивание sin x
/
x, что определяет высокую прямоугольность их АЧХ. С
целью увеличения избирательности возможно использование дополнительного слабого амплитудного взвеши-
вания изменением длины электродов. К недостаткам веерных ВШП следует отнести увеличение отражений при
полосах пропускания менее 3 %.
Обеспечить сравнительно плоский фронт излучаемой ПАВ при взвешивании амплитуд парциальных волн
можно путем изменения напряжения, подаваемого на электроды. Наиболее просто изменять напряжение на
излучающих электродах в основном ряду можно с помощью емкостного делителя, подобного аподизованному
ВШП, но работающего на другой частоте. Перекрытие электродов в дополнительном ряду емкостного делителя
полностью определяют потенциалы на нижнем электроде в основном раду (табл. 1, преобразователь 21). Благо-
даря плоскому излучаемому фронту возможно использование в фильтре ПАВ двух ВШП с емкостным взвеши-
ванием с целью повышения избирательности. Недостатком подобных ВШП является трудность реализации
сложных форм АЧХ и ФЧХ.
Другим вариантом взвешивания по напряжению является деление каждого отвода, образованного парой
противофазных электродов на несколько элементов (табл. 1, преобразователь 22). Элементы электрически свя-
заны последовательно, обеспечивая деление напряжения на отводах. Когда расстояние между отводами боль-
шое, напряжение в зазоре пропорционально числу отрезков в отводе. Из этого следует, что может быть реали-
зовано только дискретное множество амплитудных весовых функций. Метод последовательного взвешивания,
по сравнению со взвешиванием селективным удалением электродов, позволяет более точно воспроизвести за-
данную импульсную характеристику, в частности, при малых амплитудах. Это позволяет использовать в одном
ВШП комбинацию последовательного взвешивания для реализации малых амплитуд и изменение длины элек-
тродов для больших амплитуд.
Применение тех или иных конструкций ВШП с различными методами взвешивания определяется кругом
требований к параметрам фильтра ПАВ. Типичные параметры, реализуемые ВШП, наиболее часто используе-
мых конструкций сведены в табл. П1.
Представленные в табл. 1 и П1 сведения могут служить руководством при выборе типа ВШП для проекти-
руемого фильтра ПАВ по конкретным требованиям.
3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФИЛЬТРОВ НА ПОВЕРХНОСТНО-АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
3.1. Конструирование и технология изготовления звукопроводов фильтров
Наиболее распространенная общая схема изготовления фильтров ПАВ включает в себя следующие основ-
ные технологические операции: изготовление пьезоэлектрического звукопровода, изготовление фотооригинала
и фотошаблона, металлизация звукопровода, формирование встречно-штыревых структур преобразователей и
контактных шин, монтаж, сборка и герметизация фильтра.
Основные параметры фильтров ПАВ: рабочая частота, полоса пропускания, вносимое затухание, темпера-
турная стабильность, искажения из-за эффектов второго порядка и т.п. – определяются, в первую очередь, ха-
рактеристиками материала звукопровода. Поэтому для каждой конструкции выбор материала звукопровода
необходимо проводить, исходя из конкретных заданных характеристик фильтра. Для звукопровода могут быть
использованы как монокристаллические, так и поликристаллические (пьезокерамические) материалы. Моно-
кристаллы отличаются совершенством структуры, обеспечивающей малые потери на распространение ПАВ
(около 0,1...0,5 дБ/см
на частотах до 2 ГГц). Кроме того, они стабильны во времени, при серийном изготовлении
имеют высокую воспроизводимость параметров.
В фильтрах с полосой до f
3
/
f
0
= 2…5 % наиболее широко используется кварц SiO
2
различных срезов, так
как малый коэффициент электромеханической связи позволяет получить низкий уровень отраженных сигналов
даже при числе электродов более 200 – 300. Кроме того, кварц отличается высокой температурной стабильно-
стью, и поэтому могут быть получены кристаллы, позволяющие создать звукопроводы длиной 100...200 мм.