ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Послойный топологический чертеж
Рис. 3
4. Варианты технических заданий для самостоятельного
проектирования
Задание № 1. Разработать оптимальный вариант топологии фрагмента
ИМС. Номер варианта , исходные данные для расчета пассивных элементов и
тип изоляции задаются преподавателем.
Указания к выполнению задания.
1. Из банка данных о топологии (Приложение 1) выбрать конструкцию
активных элементов.
2. Рассчитать топологию пассивных элементов. Если исходные данные
для расчета не заданы, то выбрать простейшие конструкции резисторов и
конденсаторов произвольной топологии.
4.2. Варианты технических заданий для самостоятельного проектирования.
Варианты 1.1 и 1.2
Поз.
χ
R
, χ
Rs
,
P
н
, Номинал Примечание
Обозн. % % мВт 1.1. 1.2.
R1-R4 20 5 0,5 1,5 k 2 k
Pо = 5·10
-8
Вт/мкм²
R5 15 5 2 3,6 k 5,1 k j
k
= 10
-6
А/мкм²
VT1 - VT4 - выбираются из банка данных о топологии
Фотолитография позволяет получить минимальный размер элементов
l
min
= 15 мкм с абсолютной погрешностью ∆ l = 5 мкм.
Схема работает в диапазоне температур (-20 - +60)°С.
В варианте 1.1 использовать изоляцию p-n переходом, а в 1.2 -
диэлектриком.
Примечание . Для упрощения разработки топологии ИМС значения Rн и
Рн в некоторых вариантах заданий отличаются от оптимальных и могут быть
использованы только в учебных целях .
20
25
PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com
4.2. В а р и а нты те х ни че ски х за да ни й для са мо сто яте льно го п р о е кти р о ва ни я.
В а р и а нты 1.1 и 1.2
П о з. χR, χRs , Pн , Н о ми на л П р и ме ча ни е
П о сло йный то п о ло ги че ски й че р те ж О б о зн. % % мВ т 1.1. 1.2.
R1-R4 20 5 0,5 1,5 k 2k Pо = 5·10-8
Ри с. 3
В т/мкм²
R5 15 5 2 3,6 k 5,1 k jk = 10-6
А/мкм²
4. В а р и а нты те х ни че ски х за да ни й для са мо сто яте льно го
п р о е кти р о ва ни я VT1 - VT4 - выб и р а ю тся и з б а нка да нных о то п о ло ги и
За да ни е № 1. Ра зр а б о та ть о п ти ма льный ва р и а нт то п о ло ги и фр а гме нта Ф о то ли то гр а фи я п о зво ляе тп о лучи тьми ни ма льный р а зме р эле ме нто в
И М С. Н о ме р ва р и а нта , и сх о дные да нные для р а сче та п а сси вных эле ме нто в и lmin = 15 мкм с а б со лю тно й п о гр е ш но стью ∆l = 5 мкм.
ти п и зо ляци и за да ю тся п р е п о да ва те ле м. Сх е ма р а б о та е тв ди а п а зо не те мп е р а тур (-20 - +60)°С.
Ук а за ни я к вы п о лнени ю за да ни я .
В ва р и а нте 1.1 и сп о льзо ва тьи зо ляци ю p-n п е р е х о до м, а в 1.2 -
1. И з б а нка да нных о то п о ло ги и (П р и ло ж е ни е 1) выб р а ть ко нстр укци ю
ди эле ктр и ко м.
а кти вных эле ме нто в.
2. Ра ссчи та ть то п о ло ги ю п а сси вных эле ме нто в. Если и сх о дные да нны е П р и ме ча ни е . Д ля уп р о щ е ни я р а зр а б о тки то п о ло ги и И М С зна че ни я Rн и
для р а сче та не за да ны, то выб р а ть п р о сте йш и е ко нстр укци и р е зи сто р о в и Рн в не ко то р ы х ва р и а нта х за да ни й о тли ча ю тся о то п ти ма льных и мо гутб ыть
ко нде нса то р о в п р о и зво льно й то п о ло ги и . и сп о льзо ва ны то лько в уче б ных це лях .
20 25
PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version http://www.fineprint.com
