Сплавы и соединения для электронной техники. Егоров В.Н. - 20 стр.

тонкая пластичная нихромовая проволока используется для изготовления миниатюрных
высокоомных переменных резисторов с хорошими техническими характеристиками.
   Тонкие пленки из нихрома Х20Н80, получаемые методом термического испарения и
конденсации в вакууме, широко применяются для изготовления тонкопленочных резисторов, в
частности, резисторов интегральных микросхем. Химический состав пленок может заметно
отличаться от состава исходного испаряемого сплава, что обусловлено значительными
различиями в давлениях паров никеля и хрома при температурах испарения. Поэтому состав
конденсата зависит от многих технологических факторов: скорости осаждения, температуры и
материала подложки, давления остаточных паров в камере и др.
    Обычно применяют тонкие нихромовые пленки с поверхностным сопротивлением
R□ = 50 - 300 Ом и температурным коэффициентом сопротивления αR, изменяющимся в
пределах от −3⋅10-4 до +2⋅10-4 °К -1. Такие пленки обладают достаточно хорошей адгезией к
диэлектрическим подложкам и высокой стабильностью свойств.

                                  3.3 Сплавы для термопар.
   Хотя многие неметаллические материалы (в первую очередь полупроводники) имеют
большие потенциальные возможности для успешного применения в термоэлектрической
термометрии, технология их изготовления является недостаточно совершенной. Поэтому
подавляющее большинство термопар изготавливают из металлических компонентов. Наиболее
часто применяют следующие сплавы:
   1) копель (56% Сu и 44% Ni);
   2) алюмель (95% Ni, остальные — Аl, Si и Мn);
    3) хромель (90% Ni и 10% Сr);
   4) платинородий (90% Pt и 10% Rh).




                                                Рис 3.3.1 Зависимость термо-э.д.с. от
                                                разности температур горячего и холодного
                                                спаев для термопар: 1 – хромель-копель; 2 –
                                                железо-копель; 3 – медь-копель; 4 – железо-
                                                константан; 5 – медь-константан; 6 –
                                                хромель-алюмель; 7 – платинородий-платина




   На рис. 3.3.1 приведены зависимости термо-э. д. с. от разности температур горячего и
холодного спаев для наиболее употребительных термопар.
    Небольшие изменения состава сплава могут привести к значительным изменениям термо-
э. д. с. Однако это не лимитирует точности измерений, если только термопара не используется
без предварительной градуировки.
    Термопары можно применять для измерения следующих температур: платинородий — платина
до 1600°С; медь — константен и медь —копель до 350°С; железо — константан, железо —
копель и хромель — копель до 600°С; хромель — алюмель до 900—1000°С. Из применяемых
в практике термопар наибольшую термо-э. д. с. при данной разности температур имеет
термопара хромель — копель. Знак термо-э. д с. у приведенных на рис. 3.3.1 термопар
таков, что в холодном спае ток направлен от первого названного в паре материала ко
второму (т. е. от хромели к копелю, от меди к константану и т. д.), а в горячем спае — в
обратном направлении.