Составители:
Рубрика:
32
С момента изобретения первого СЗМ-устройства было
сделано и модифицировано еще несколько разновидностей
СТМ и АСМ. Главным образом, отличия всех более поздних
модификаций заключаются либо в специальном исполнении
(для работы в специфических условиях или со специфиче-
скими объектами), либо в наличии дополнительного измери-
тельного оборудования. В частности, в настоящее время
вы-
деляют: латерально-силовые микроскопы (ЛСМ), отобра-
жающие латеральные (т.е. боковые) отклонения измеритель-
ной консоли (закручивание), которые возникают в ней в
плоскости параллельной поверхности образца; магнитно-
силовые микроскопы (МСМ), отображающие пространствен-
ные вариации магнитных сил на поверхности образца; элек-
тростатические силовые микроскопы (ЭСМ), которые при-
меняются для исследования
распределения поверхностной
плотности носителей заряда.
С помощью сканирующей термальной микроскопии
(СТерМ) можно визуализировать локальные вариации теп-
лофизических параметров поверхностей (Howland and
Benatar, 2000). Данная методика реализуется за счет исполь-
зования терморезистивного зонда, работающего в одном из
двух режимов — постоянного тока или постоянной темпера-
туры.
Близкопольная сканирующая оптическая микроскопия
(БСОМ) является особой разновидностью сканирующей
зон-
довой технологии, в которой используется видимый свет
(Howland and Benatar, 2000). Другое название этой методики
— сканирующая световая микроскопия. Традиционно разре-
шение оптических микроскопов ограничено длиной волны
света — примерно половиной микрона. БСОМ улучшает раз-
решение оптического микроскопа на порядок.
Одной из эффектных СЗМ-технологий реального произ-
водства является нанолитография. Обычно СЗМ применяют-
ся для
изучения поверхности без ее повреждения. Однако
АСМ или СТМ могут быть использованы для направленной
модификации поверхности путем приложения либо повы-
шенной нагрузки в случае АСМ, либо повышенных пульса-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »
