Составители:
38
ченное острие. Его взаимодействие с поверхностью образца позволяет реги-
стрировать магнитные микрополя и представлять их в качестве карты намаг-
ниченности.
В микроскопе электростатических сил измеряется распределение ем-
кости вдоль поверхности образца, а острие зонда и образец рассматриваются
как конденсатор. Такой микроскоп используют, например, для контроля
микросхем.
Комп
ьюте
р
ная
система управле-
ния движением
сканирующего
устройства, сбо-
ра, визуализации
и анализа данных
Пьезоэлектрич
е-
ское сканирующее
устройство, пере-
мещающее образец
под иглой (иглу над
образцом) по рас-
тровой схеме
Система груб
о-
го подвода и
позициониро-
вания зонда
Система обра
т
ной связи
для контроля за верти-
кальным движением ска-
нирующего устройства
Датчик
положе-
ния зонда
Сканиру
ю-
щая игла
(зонд)
-
x
+
x
-
y
±z
+y
Рис. 3.4. Обобщенная структурная схема сканирующего силового микроскопа
Важнейшим параметром любого микроскопа является его разрешение.
Под линейным разрешением микроскопа d
м
понимают наименьшее рас-
стояние между двумя соседними точками объекта, которые наблюдаются в
микроскоп еще раздельно. Чем меньше величина линейного разрешения d
м
,
тем более мелкие детали исследуемого объекта можно увидеть в микроскоп.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 36
- 37
- 38
- 39
- 40
- …
- следующая ›
- последняя »
