Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 43 стр.

ведут методом опрессовки изделий газом, содержащим галогены. С
помощью вакуумного галоидного течеискателя поиски ведутся
таким же методом, как и гелиевым течеискателем, с применением
фреона или другого галогеносодержащего пробного вещества.
     Масс-спектрометрический            течеискатель.     Масс-
спектрометрический течеискатель – это относительно простой
газоанализатор, настроенный, как правило, на регистрацию
содержания одного пробного газа в газовой смеси. В большинстве
случаев пробным газом служит гелий, который, будучи химически
инертным газом, совершенно безвреден и безопасен в работе.
Благодаря малому содержания гелия в атмосферном воздухе (всего
1/200 000 часть) и в газах, выделяемых внутренними стенками
вакуумной системы, фон, на котором регистрируют сигнал, невелик,
что обеспечивает высокую чувствительность течеискателя. Малая
молекулярная масса гелия (массовое число 4) позволяет не только
создать малогабаритную и простую конструкцию масс-
спектрометрической камеры течеискателя, но и обеспечивает
эффективное проникновение пробного вещества через течи. Кроме
того, пик однократно ионизированного атома гелия (отношение
массы к заряду иона m/е = 4) в спектре масс практически
невозможно спутать с пиком какого-либо другого ионизированного
атома или молекулы.
     Масс-спектрометрический анализ сводится к следующим
процессам, происходящим в условиях высокого вакуума:
   1. превращение анализируемых молекул в положительные ионы с
      зарядом е;
   2. создание моноэнергетического ионного пучка посредством
      ускорения ионов продольным электрическим полей;
   3. разложение ионного пучка на компоненты по значениям m/е,
      где m – масса заряженной частицы;
   4. регистрация и измерения интенсивности выделенного ионного
      луча c определенным отношением m/е.
     Эти процессы осуществляются в трех основных узлах масс-
спектрометра (рис. 4). В ионном источнике происходит ионизация
газа и формирование ионного пучка, который в анализаторе
разделяется по массам. Выделенный пучок ионов с определенным
m/е воспринимается регистрирующим устройством, измеряющим
его интенсивность.


                               43