ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Если q – не целое число, то его округляют до ближайшего большего целого.
Длина участка измерения на профилограмме определяется по формуле
.
г
υ
=
LL
n
2. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАЧЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ R
z
, R
max
, S
ПРИ ПОМОЩИ МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРОВ И РАСТРОВЫХ
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ МИКРОСКОПОВ С ВИЗУАЛЬНЫМИ
ОКУЛЯРАМИ ВИНТОВЫМИ МИКРОМЕТРАМИ
При измерении параметров R
z
, R
max
, S в поле изображения прибора одна из нитей перекрестия должна быть
установлена параллельно направлению полос (интерференционных, муаровых), другая – параллельно направ-
лению неровностей. Параметры шероховатости определяются в пределах базовой длины.
2.1. Для нахождения значения параметра R
z
при измерении растровым микроскопом и микроинтерферо-
метрами МИИ-4, МИИ-5, МИИ-10 (с преобладанием интерференции равного наклона) измеряют ординаты пя-
ти наибольших максимумов профиля h
imax
и пяти наибольших минимумов h
imin
в делениях барабана микромет-
ра.
Измеряют ширину полосы (интерференционной, муаровой) ε в делениях барабана микрометра.
Значение параметра R
z
находят по формуле
мкм, ,
5
5
1
min
5
1
max
1
−
ε
=
∑∑
== i
i
i
i
z
hh
c
R
где c
1
– цена интерференционной, муаровой полосы прибора, мкм.
2.2. При измерении микроинтерферометрами МИИ-9, МИИ-12 (с преобладанием интерференции в клине)
значение параметра R
z
находят по формуле
мкм, ,
5
5
1
min
5
1
max
2
−
ε
=
∑∑
== i
i
i
i
z
hh
c
R
где
0
0
2
sin2 U
U
c
λ
=
– цена интерференционной полосы; λ – длина волны источника света, мкм; U
0
– апертурный
угол; sin U
0
– апертура освещающего пучка.
2.3. Для нахождения значения параметра R
max
при измерении растровым микроскопом и микроинтерфе-
рометром МИИ-4, МИИ-5, МИИ-10 измеряют ординаты наивысшей точки профиля h
max
и наинизшей точки
профиля h
min
в делениях барабана микрометра.
Измеряют ширину полосы (интерференционной, муаровой) ε в делениях барабана.
Значении параметра R
max
находят по формуле
()
мкм. ,
minmax
1
max
hh
c
R −
ε
=
2.4. Значение параметра R
max
при измерении микроинтерферометрами МИИ-9, МИИ-12 находят по фор-
муле
()
мкм. ,
minmax
2
max
hh
c
R −
ε
=
2.5. Значение параметра S при измерении растровым микроскопом и любым микроинтерферометром нахо-
дят следующими способами:
а) нить перекрестия последовательно совмещают с соседними максимумами профиля.
Измеряют абсциссы максимумов профиля S
i
в делениях барабана микрометра.
Значение параметра S находят по формуле
()
мм, ,
1
)1(
1
13
∑
−
=
+
−=
n
i
ii
SS
n
cS
