Моделирование радиационных эффектов в структурах металл-диэлектрик-полупроводник. Иванков Ю.В - 8 стр.

О тметим, что ко мп рессио нно е во здей ствие электро да М Д П -структуры на
г раниц ураздела
Si-SiO2        п риво дит к уменьшению             меж ато мно г
                                                               о    рассто я ния  в
разуп о ря до ченно й п ерехо дно й о бласти о кисла и сниж аетнап ря ж енно стьSi-
O свя зей на г      ранице раздела,       увеличивая     тем сам ы м веро я тно сть
во сстано вления разо рванны х свя зей , а следо вательно и радиац ио нную
сто й ко стьМ Д П -структуры .
       О бразо вание П С в о блученны х М Д П -структурах мо ж етп ро исхо дить и
за счетп о ступ ления радиацио нны х дефекто в из о бъ ема о кисно й п ленки на
г раниц ураздела. Н ап ример, во змо ж но движ ение немо стико во г   о кисло ро да,
о бусло вленно е наличием г   радиента нап ря ж енны х свя зей в п о ле внутренних
уп ругих нап ря ж ений .
       П ри вы со ко й ко нцентрац ии во до ро да в о кисно й п ленке уп ругие
нап ря ж ения п ерестаю т о казы вать влия ние на чувствительно сть М Д П -
структуры к ио низирую щ ей радиац ии.            Э то свя зано с тем, что п ри
п о вы шении со держ ания во до ро да значительная часть П С о бразуется за счет
разры ва слабы х Si-H или Si-OH свя зей , ко то ры е исп ы ты ваю тзначительно
меньшее влия ние механических нап ря ж ений , чем Si-O cвя зи, фо рмирую щ ие
структуруо кисно й п ленки и г     раницуее раздела с кремнием. О тметим, что
о тж иго блученны х М О П -структур в во до ро де сниж ает о бъ емны й заря д в
о кисле и п ло тно сть П С за счетп ассивац ии радиацио нны х дефекто в, о днако ,
уро вень дег   радации таких М Д П -структур п ри п о следую щ ем о блучении
во зрастает. Т аким о бразо м, наличие во до ро да или п ро -дукто в разло ж ения
во ды в о кисле неблагоп рия тно сказы вается на радиац ио нно й сто й ко сти
М Д П -п рибо ро в.


2. М ехан из
           мы образ  ован ия радиацион н ого з
                                             аряда в диэл ектрич еских
сл оях М Д П -структур.

        Coг ласно мо дели Гро ува-Сно у п о д дей ствием ио низирую щ ег           о
излучения вдиэлектрике М Д П -структуры п ро исхо дитгенерац ия электро нно -
ды ро чны х п ар, разделение этих п ар электрическим п о лем, ухо д бо лее
п о движ ны х но сителей - электро но в из о кисно г  о сло я в электро ды и захват
менее п о движ ны х но сителей - ды ро к на ло вушечны е ц ентры в диэлектрике.
П ро цесс ды ро чно г о захвата п ро до лж ается до ко мп енсац ии нап ря ж енно сти
внешнег   о электрическо г о п о ля п о лем накап ливаемо г
                                                          о о бъ емно г
                                                                      о заря даQot и
п рекращ ения разделения результирую щ им электрическим п о лем электро нно
-ды ро чны х п ар, генерируемы х излучением .
       Н а о сно ве это й мо дели М итчелл дал п ерво е аналитическо е о п исание
п ро цессао бразо вания заря да в диэлектрике М Д П -структуры , до п о лнительно