Физический эксперимент в микроэлектронике. Иванов В.П - 15 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

Порядок выполнения работы
I Ознакомиться с устройством установки «УЛАРУС» (рис. 3.2).
Она предназначена для макрофотосъемки и фоторепродуцирования и широко применяется как для
фотолитографии в технологии печатных плат и полупроводниковых приборов РЭС, так и в криминали-
стике.
Рис. 3.2 Схема макросъемки плоского объекта на установке «УЛАРУС»:
1 – фотостол; 2 – штанга; 3 – кронштейн; 4 – фотоаппарат; 5 – объект;
6 – контактные рамки; 7 – софиты; 8 – световая шахта; 9 – рычаг автоспуска;
10 – рычаг взведения затвора; 11 – видоискатель
На фотостоле 1 установлена штанга оптической скамьи, по которой могут перемещаться монтаж-
ные кронштейны с различными фотокамерами и системами подсветки. На кронштейне 3 смонтирован
зеркальный фотоаппарат 4 типа «Зенит». Плоский объект 5 зажат между стеклами контактных рамок 6.
Освещение производят софитами 7 или донным осветителем световой шахты 8.
В случае с трехмерным объектом стол с контактными рамками убирается и подсветка производится
в световой шахте.
На панели управления «УЛАРУСА» расположены тумблеры электропитания различных осветителей
и автоматическое реле времени «Изохрон-3», управляющее автоспуском затвора фотоаппарата 9.
II 1) Зарядить фотокамеру «УЛАРУС’а» заранее приготовленной кассетой с пленкой. Получить у
преподавателя объект и задание для макрофотосъемки.
2) Учитывая полученное задание, подобрать комбинацию оптики, и положение фотокамеры (руко-
ятка кронштейна 3) с таким расчетом, чтобы резкое изображение объекта по возможности полностью
заполняло окно видоискателя фотокамеры 11.
3) Выбрать вид освещения и включить осветители (7, 8) так, чтобы была наиболее ярко освещена
интересующая часть объекта.
4) Проэкспонировать 3 – 4 кадра с различным временем экспозиции (время выдержки записать).
Пользуясь заранее приготовленными реактивами обработать фотопленку и оценить качество негатива и
оптимальную экспозицию. Если получено нерезкое или некачественное изображение, работу повторить,
исправив недостатки с учетом рекомендаций преподавателя.
СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА
1 Описание схем освещения при макросъемке.
2 Качественный (резкий, нормально экспонированный и нормально обработанный) негатив.
3 Анализ ошибок на полученном негативе, если таковые имеются (прил. 2).
2
11
10
7
4
9
3
5
6
1
8

Страницы