ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Ф48 Физический эксперимент в микроэлектронике: Метод. пособие. Тамбов: Изд-во Тамб. гос.
техн. ун-та, 2004. 72 с.
В пособии дано описание лабораторных работ по экспериментальным методам, применяемым в
лаборатории технологии деталей РЭС и микроэлектроники.
Предназначено для студентов 3 курса дневного отделения специальности 2008.
УДК 3844.1я73-5Ф
ББК 621.382
© Иванов В.П., Пручкин В.А.,
2004
© Тамбовский государственный
технический университет
(ТГТУ), 2004
Учебное издание
ИВАНОВ Владимир Петрович ,
ПРУЧКИН Владимир Аркадьевич
ФИЗИЧЕСКИЙ ЭКСПЕРИМЕНТ
В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Методическое пособие
Редактор В.Н. Митрофанова
Инженер по компьютерному макетированию Т.А. Сынкова
Подписано к печати 13.09.2004
Формат 60 × 84/16. Гарнитура Times. Бумага офсетная. Печать офсетная.
Объем: 4,19 усл. печ. л.; 4,0 уч.-изд. л.
Тираж 100 экз. С. 616
М
Издательско-полиграфический центр
Тамбовского государственного технического университета
392000, Тамбов, ул. Советская, 106, к. 14
