ВУЗ:
Составители:
1.
Адсорбция. Виды и изотермы адсорбции.
2.
Термодинамика образования зародышей.
3.
Рост кристаллов.
4.
Стадии роста тонких плёнок.
5.
Эпитаксия. Виды эпитаксии.
6.
Структурные условия эпитаксии.
7.
Влияние температуры подложки на структуру плёнки. Температура эпитаксии.
Литература: [3, с. 374 – 376]; [8, с. 70 – 71; 84 – 85].
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1.
Пустыльник, Б.И. Статистические методы анализа и обработки наблюдений / Б.И. Пустыльник.
– М. : Наука, 1968. – 288 с.
2.
Савельев, И.В. Курс общей физики. Т. 2. / И.В. Савельев. – М. : Наука, 1987. – 496 с.
3.
Шаскольская, М.П. Кристаллография / М.П. Шаскольская. – М. : Высшая школа, 1984. – 376 с.
4.
Пшеничнов, Ю.П. Выявление тонкой структуры кристаллов / Ю.П. Пшеничнов. – М. : Метал-
лургия, 1974. – 521 с.
5.
Лившиц, Б.Г. Физические свойства металлов и сплавов / Б.Г. Лившиц. – М. : Металлургия, 1980.
– 320 с.
6.
Лахтин, Ю.М. Металловедение и термическая обработка металлов / Ю.М. Лахтин, В.П. Леонтье-
ва. – М. : Машиностроение, 1976. – 407 с.
7.
Гуляев, А.П. Металловедение / А.П. Гуляев. – М. : Металлургия, 1986. 544 с.
8.
Епифанов, Г.И. Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА / Г.И. Епифанов,
Ю.А. Мома. – М. : Советское радио, 1979. – 352 с.
9.
Практикум по полупроводникам и полупроводниковым приборам / под ред. К.В. Шалимовой. –
М. : Высшая школа, 1968. – 277 с.
10.
Пасынков, В.В. Материалы электронной техники / В.В. Пасынков, В.С. Сорокин. – М. : Высшая
школа, 1986. – 367 с.
