ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
55
Ион металла имеет меньший радиус, чем соответствующий атом
металла. Следовательно, от металла сквозь пленку будут двигаться в
основном ионы металла и электроны (рис. 1.16). Диффузия ионов ки-
слорода происходит навстречу ионам металла. Ионизация кислорода
при этом осуществляется на внешней поверхности пленки [24]. По-
этому металлические ионы имеют большую подвижность при диффу-
зии, и зона роста пленки сдвинута к внешней границе.
Возможно движение атомов или ионов между узлами кристалли-
ческой решетки (рис. 1.17), или же через пустые узлы в решетке, или
по дислокациям и границам зерен (рис. 1.18) [24].
Рис. 1.17. Схема диффузии при росте пленки типа
ZnO
:
1 – катионы металла в узле решетки; 2 – анион кислорода;
3 – катион металла в междоузельном пространстве; 4 – электрон
Различают два типа оксидов [1, 24]:
– оксиды с избытком ионов металла по сравнению со стехиомет-
рическим составом. Такие оксиды увеличивают свою электропровод-
ность при нагреве в восстановительной атмосфере;
– оксиды с избытком ионов кислорода по сравнению со стехио-
метрическим составом. Такие оксиды увеличивают электропровод-
ность при нагреве в окислительной атмосфере.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 55
- 56
- 57
- 58
- 59
- …
- следующая ›
- последняя »