Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография. Кальянов А.Л - 66 стр.

UptoLike

Рубрика: 

66
Задание 5. Определение высоты микрорельефа поверхности образца
В режиме интерферометра найти на поверхности образца участок, содержащий неровно-
сти, вызывающие различимое глазом искривление интерференционных полос, выделить одну
из них и вывести при помощи микрометрических винтов 4 в середину поля зрения.
Определить, с помощью окуляр-микрометра и окулярной камеры, величину смещения
интерференционных полос на неровности и, зная центральную длину волны источника
излуче-
ния
0
λ
, рассчитать высоту микрорельефа.
Измерения провести как в белом свете, так и в монохроматическом, воспользовавшись
цветными фильтрами.
Задание 6. Определение высоты макрорельефа поверхности образца
Измерять рельеф поверхности при помощи микроинтерферометра можно не только по
изгибу интерференционных полос, но и по их смещению при перестройке микроскопа с одного
участка поверхности на другой. Для этого на микроскопическом изображении необходимо вы-
делить некоторый участок на поверхности исследуемого объекта и вывести, используя микро-
метрические винты 4 предметного столика, этот участок
на перекрестие шкалы окуляр-
микрометра.
Затем, пользуясь микрометрическим винтом 7 вывести центральную ахроматическую
полосу точно в центр поля зрения также до полного совпадения с перекрестием шкалы окуляр-
микрометра. При этом удобно, чтобы полосы были ориентированы горизонтально, или верти-
кально. Снять показания микрометрических винтов 4 и 7.
Используя микрометрические винты предметного столика 4 сместить изображение
объ-
екта так, чтобы в перекрестии шкалы окуляр-микрометра оказался другой участок поверхности
объекта, после чего винтом 7 снова установить ахроматическую полосу на перекрестие шкалы
окуляр-микрометра. Снять новые показания микрометрических винтов 4 и 7.
Разность первого и второго показаний винта 7 указывают геометрическую разность вы-
сот поверхности образца в выбранных точках, а разность показаний
винта 4 – поперечное рас-
стояние между этими точками.
Описанную процедуру повторить для 15-20 точек поверхности образца, лежащих на од-
ной прямой, и по полученным данным построить профиль поверхности объекта вдоль этой
прямой.