Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 104 стр.

UptoLike

Контрольные вопросы
1. Достоинства и недостатки пассивных компонентов микроси-
стем.
2. Основные электрические характеристики проводников в ВЧ-
схемах.
3. Приведите типичные рабочие зоны индуктора.
4. Каким образом катушки индуктивности влияют на рабочую схе-
му?
5. Чем определяется индуктивность катушки любой формы?
6. Приведите варианты планарных индукторов.
7. Добротность индуктора.
8. Какие моменты необходимо учитывать при разработке индукто-
ров?
9. Назовите области применения индукторов.
10. Приведите схему многоуровневого индуктора из меандров.
11. Какие гибридные технологии были разработаны для изготов-
ления 3D катушек?
12. Приведите модель индуктора из меандров.
13. Чем определяется величина индуктивности?
12. КАТУШКИ ИНДУКТИВНОСТИ В МИКРОСИСТЕМАХ.
ЧАСТЬ 2
Спиральные индукторы
Спиральные индукторы это тонкопленочные индукторы, техно-
логически совместимые с ИС, нашедшие свое применение в магнитных
микроприводах с внутренней генерацией магнитного поля. По причи-
не того, что спиральные индукторы обладают сравнительно низкой
индуктивностью, на очень высоких частотах они работают как пас-
сивные компоненты [14].
Спиральные индукторы изготавливаются либо на изоляционных,
либо на магнитных подложках. В обоих случаях они имеют геомет-
рию, позволяющую генерируемому магнитному потоку проходить че-
рез поверхность подложки. Без использования сердечника, обладаю-
щего магнитной проницаемостью, практически невозможно напра-
104