ВУЗ:
Составители:
10
ских слоях, необходимо закрыть все окна редактирования топологии с помо-
щью команды File/Close, после чего активизировать команду File/New или
щелкнуть левой кнопкой «мыши» на кнопке
. В результате на экране появит-
ся диалоговое окно, показанное на рис. 3.
Рис. 3. Диалоговое окно команды New
В данном окне в поле «File type» необходимо с помощью манипулятора
«мышь» или клавиш со стрелками выбрать тип создаваемого файла (Layout –
файл топологии; Text – текстовый файл), после чего нажать кнопку «ОК».
После этого файл может быть сохранен с помощью команды File/Save
(см. рис. 2).
2.3. Ввод информации о слоях
После создания нового файла в редакторе L-Edit следует ввести список
слоев и их параметры. Все вводимые слои можно разделить на следующие
группы:
- технологические;
- топологические;
- специальные.
Рисунок в каждом технологическом слое представляет изображение, пе-
реносимое в дальнейшем на соответствующий фото- или рентгеношаблон. При
использовании электронно-лучевой литографии осуществляется управление
электронным лучом при сканировании на основе информации о координатах
графических примитивов технологических слоев [3].
Следует отметить, что рисунки в технологических слоях не всегда непо-
средственно сохраняются в топологических файлах. Соответственно, топологи-
ческий файл не обязательно содержит информацию обо всех технологических
слоях. В этом случае рисунок технологического слоя формируется автоматиче-
ски с помощью специального программного обеспечения на основе соответст-
вующих топологических слоев по определенным правилам и с учетом ряда до-
пусков.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
