Составители:
Рубрика:
119
устраняет
необходимость
блокирования
видимой
области
в
том
случае
,
когда
подложкой
служит
кварц
.
Поглощение
в
кварце
(
далее
4,5
мкм
)
или
сапфире
(
далее
6,5
мкм
)
блокирует
длинноволновую
область
спектра
.
Данные
по
физическим
свойствам
пленок
приведены
в
таблице
2.3.
В
этой
же
таблице
даны
способы
испарения
материалов
.
Электронно
-
лучевое
испарение
является
предпочтительным
перед
испарением
из
лодочек
или
тиглей
с
прямым
нагревом
,
так
как
дает
более
чистые
пленки
.
При
столкновении
большая
часть
кинетической
энергии
превращается
в
тепловую
энергию
,
и
при
этом
могут
быть
получены
температуры
выше
3000 °
С
.
Тигель
непрерывно
охлаждается
водой
,
следовательно
,
взаимодействие
между
испаряемым
веществом
и
материалом
тигля
практически
отсутствует
.
Кроме
того
,
при
электронно
-
лучевом
испарении
на
подложку
попадает
поток
,
как
нейтральных
частиц
,
так
и
ионов
испаряемого
вещества
.
Таким
образом
косвенно
реализуется
метод
ионного
ассистирования
,
в
котором
одновременно
с
потоком
атомов
на
подложку
подается
поток
ионов
с
энергией
выше
тепловой
.
Дополнительная
бомбардировка
ионами
поверхности
увеличивает
адгезию
пленок
к
подложке
и
между
собой
и
увеличивает
плотность
пленок
.
В
таблице
2.3
указан
материал
,
из
которого
может
быть
испарено
вещество
.
Как
было
отмечено
выше
,
наиболее
распространенными
материалами
для
лодочек
и
испарителей
с
прямым
нагревом
являются
тугоплавкие
металлы
:
тантал
,
вольфрам
и
молибден
.
При
напылении
диэлектриков
определяющим
при
выборе
материала
является
температура
испарения
вещества
.
При
выборе
материала
лодочек
на
первое
место
выходит
вольфрам
.
Также
в
таблице
2.3
приведена
относительная
плотность
q
для
фиксированной
температуры
,
которая
определяется
отношением
плотности
пленки
ρ
f
к
плотности
массивного
образца
ρ
m
.
Относительная
плотность
(
коэффициент
упаковки
,
коэффициент
заполнения
)
связана
с
показателем
преломления
массивного
образца
и
пленки
соотношением
1
2
2
1
2
2
2
2
−
+
⋅
+
−
==
m
m
f
f
m
f
n
n
n
n
q
ρ
ρ
, (2.15)
где
n
f
и
n
m
–
показатели
преломления
пленки
и
массивного
образца
соответственно
.
Используя
формулу
(2.15)
и
значение
q
для
фиксированной
температуры
подложки
из
таблицы
2.3,
можно
определить
значение
коэффициента
преломления
пленки
при
известном
значении
коэффициента
преломления
монокристалла
.
Такую
же
простую
связь
между
одним
параметром
при
напылении
и
спектром
поглощения
найти
не
удается
.
Халькогениды
на
основе
сульфидов
,
селенидов
и
теллуридов
: ZnS, ZnSe,
А
s
2
S
3
, As
2
Se
3
, PbSe, PbTe, GeTe,
а
также
,
фториды
Ва
F
2
,
Р
bF
2
, SrF
2
, YF
3
,
являются
перспективными
пленкообразующими
материалами
для
изготовления
интерференционных
покрытий
различного
назначения
в
видимом
и
ИК
-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 117
- 118
- 119
- 120
- 121
- …
- следующая ›
- последняя »
