Составители:
Рубрика:
165
(
)
(
)
(
)
{
}
222
000
22
0
422
knnnkkknnknnnku
ssss
−−−−++−=
;
λ
π
η
d
2
=
;
d
-
толщина
слоя
;
k
-
коэффициент
поглощения
слоя
;
k
s
-
коэффициент
поглощения
подложки
;
n
0
-
показатель
преломления
среды
,
из
которой
падает
излучение
;
n
s
-
показатель
преломления
подложки
;
n
-
показатель
преломления
материала
слоя
.
Используемые
в
этих
случаях
металлы
должны
быть
устойчивы
к
воздействию
окружающей
среды
,
механически
прочны
,
а
также
обладать
постоянным
коэффициентом
пропускания
в
рабочем
(
видимом
,
ИК
)
спектральном
диапазоне
прибора
.
Этим
требованиям
максимально
удовлетворяет
никель
.
Тонкие
пленки
на
основе
никеля
являются
механически
прочными
,
стабильны
во
времени
,
имеют
нейтральную
характеристику
в
широком
спектральном
диапазоне
.
Никель
имеет
температуру
плавления
1750°C
при
давлении
10
-3
Па
,
поэтому
для
его
осаждения
предпочтительно
электронно
-
лучевое
испарение
.
Оптические
постоянные
никеля
приведены
в
таблице
3.2.
Все
поглощающие
слои
очень
чувствительны
к
условиям
формирования
пленок
,
поскольку
определяющие
их
оптические
параметры
(
показатель
преломления
и
коэффициент
поглощения
)
зависят
от
структуры
пленок
.
Определяющими
факторами
,
оказывающими
максимальное
влияние
на
величину
n
и
k
,
являются
:
1)
степень
разряжения
в
вакуумной
камере
;
2)
состав
остаточных
газов
;
3)
чистота
подложки
(
дефекты
поверхности
);
4)
химическая
чистота
поверхностей
;
5)
наличие
поверхностных
напряжений
;
6)
скорость
изменения
температуры
подложки
во
время
осаждения
слоя
;
7)
температура
подложки
во
время
измерения
спектральных
характеристик
;
8)
скорость
осаждения
пленкообразующего
материала
;
9)
однородность
по
составу
пленкообразующего
материала
.
Спектральные
зависимости
коэффициентов
пропускания
,
отражения
и
поглощения
определяются
оптическими
постоянными
металлов
и
их
толщиной
.
На
рис
. 3.14
приведены
спектральные
зависимости
слоя
никеля
толщиной
0,1
нм
, 0,2
нм
и
0,4
нм
,
нанесенной
на
подложку
из
стекла
К
8 (
n
=1,51).
Как
видно
из
рисунка
,
с
ростом
толщины
пленки
увеличивается
не
только
поглощение
в
ней
,
но
и
ее
коэффициент
отражения
.
При
этом
для
пленки
никеля
фиксированной
толщины
характерно
приблизительное
постоянство
коэффициента
отражения
и
пропускания
в
широком
спектральном
диапазоне
.
Таблица
3.2
Оптические
постоянные
никеля
λ
λλ
λ
, мкм
n k
λ
λλ
λ
, мкм
n k
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 163
- 164
- 165
- 166
- 167
- …
- следующая ›
- последняя »
