Проектирование, изготовление и исследование интерференционных покрытий. Котликов Е.Н - 28 стр.

UptoLike

Рубрика: 

28
Рис.1.7. Спектр отражения 5-слойного покрытия на германии
Здесь все пленки имеют одинаковую оптическую толщину, равную λ
0
/4
для длины волны 3.3 мкм. Коэффициенты преломления пленок меняются от
3.575 до 1.35. При дальнейшем синтезе покрытия необходимо использовать
метод эквивалентных слоев. Он заключается в том, что каждую пленку с
заданным коэффициентом преломления требуется заменить на три. Структура
замены такова. Используются три пленки, толщины которых меньше λ
0
/4.
Структура системы, которая заменяет одну пленку, имеет вид HLH или LHL,
где H - пленка с высоким показателем преломления, L – плёнка с низким
показателем преломления.
Средне - весовое значение коэффициента преломления соответствует тому,
которое получается в результате синтеза. Например, пленку с требуемым
коэффициентом преломления 3.575 можно заменить на три пленки, толщины
которых в первом приближении одинаковы (λ
0
/12), а коэффициенты
преломления равны (4-2.4-4). Затем толщины пленок подбираются такими,
чтобы получить требуемый коэффициент отражения в заданной области
спектра. Та же процедура повторяется с каждой из последующих пленок.
1.6. Диэлектрические зеркала
Рассмотрим высокоотражающие покрытия из четвертьволновых пленок с
коэффициентом отражения R. Диэлектрическая пленка толщиной h (показатель
преломления n
B
), нанесенная на подложку с показателем преломления n
0
(n
0
<n
B
), увеличивает коэффициент отражения, если
4λ=hn
B
. Действительно, в
0
10
20
R
%
2 4 6 8 10 12
λ (мкм)